【中新社】上?？蒲腥藛T“定制”微器件 為新材料應(yīng)用探路
文章來源：上海技物所 | 發(fā)布時(shí)間：2020-01-25 | 【打印】 【關(guān)閉】
微電子器件(簡稱：微器件)“潛伏”在人們?nèi)粘Ｉ钪?，比如一部普通手機(jī)的CPU(中央處理器)里有多達(dá)百億個(gè)晶體管(微器件的一種)。據(jù)來自中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所的消息，該所的王建祿研究員等人，通過新型制備方法，能按需定制微器件，有望加速未來的新型半導(dǎo)體材料的應(yīng)用。相關(guān)成果于北京時(shí)間25日在線發(fā)表于國際期刊NatureElectronics(《自然·電子學(xué)》)。
王建祿研究員在上海接受媒體采訪時(shí)介紹，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體微器件工藝過程十分繁瑣復(fù)雜，例如，要通過幾百道甚至上千道的工藝，才能獲得常用的計(jì)算機(jī)芯片，研究團(tuán)隊(duì)探索的是：如何以簡單的工藝，按需定制微器件。
中科院上海技術(shù)物理研究所 供圖(圖片說明：王建祿研究員在展示鐵電薄膜層的透光性) 鄭瑩瑩 攝
可以這么描述他們的制備方法：用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖?！爱嫴肌眲t是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。
“這層具有極性的鐵電薄膜就像一張納米厚度的神奇畫布，運(yùn)用納米畫筆可以在畫布上任意作畫，畫作就是各類微器件，還可以反復(fù)擦寫畫布，這種方法給制備微器件提供了豐富的想象力。”王建祿如是說。
中科院上海技術(shù)物理研究所 供圖(圖片說明：王建祿研究員(中)和博士研究生吳廣健(左)、伍帥琴(右)) 鄭瑩瑩 攝
王建祿同時(shí)也指出，這種制備方法適用于幾乎所有的半導(dǎo)體薄膜材料，但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對(duì)成熟，新方法更適合用于未來新型低維半導(dǎo)體材料的應(yīng)用上。
據(jù)悉，這項(xiàng)研究由中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所與復(fù)旦大學(xué)、華東師范大學(xué)、南京大學(xué)、中國科學(xué)院微電子所等多個(gè)課題組合作完成。(原載于 中新網(wǎng) 作者鄭瑩瑩）
