上海光源自主研制1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡取得重大進展
文章來源:上海高等研究院 | 發(fā)布時間:2023-05-15 | 【打印】 【關(guān)閉】
上海光源關(guān)鍵技術(shù)研制再傳捷報。繼2022年10月800mm高精度平面反射鏡自主研制取得重大突破后,上海光源光學組再接再厲,于2023年4月成功研制出1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡。其各項參數(shù)已達到國際先進水平,并將進入實用化階段。
2023年4月19日至20日,由來自中國科學技術(shù)大學、北京高能物理所、同濟大學、上海光機所的4位專家組成的工藝測試專家組在上海光源對1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡進行了現(xiàn)場測試。測試結(jié)果表明:反射鏡全長1000mm,光學有效長度950mm,表面斜率誤差0.202μrad(RMS),表面粗糙度0.276nm(RMS),主要技術(shù)指標達到國際先進水平。此前同步輻射光源使用的大尺寸高精度反射鏡均依賴進口,該反射鏡的成功研制標志著上海光源突破技術(shù)瓶頸,具備了同步輻射大尺寸高精度X射線平面反射鏡的自主制造能力,為我國同步輻射光源光束線大尺寸高精度平面反射鏡工程化應(yīng)用提供了堅實的技術(shù)保障。
工藝測試專家組聽取項目組研制報告并審議測試大綱
大尺寸高精度平面反射鏡檢測中

大尺寸平面反射鏡斜率誤差檢測結(jié)果
大尺寸平面反射鏡表面粗糙度檢測結(jié)果
